1999 AMAT Centura RTP

2 Xe+ chambers and 2 cool down chambers

VINTAGE :  1999

WAFER SIZE:  8 INCH

PROGRESS TYPE: 

CHAMBER POSITION:

CH A - RTP - XE+

CH B - RTP - XE+

CH C - EMPTY

CH D - EMPTY

CH E - COOLDOWN

CH F - COOLDOWN

Buffer ROBOT :  HP

CHILLER #1 : 

CH #A CONFIG  

- TURBO : N/A  

- C/M :   

-SCR POWER CONTROLLER :  SN   

-ASTEX :  2495-I

Gas Panel MFC GAS/LIQ Size  

A 6 O2 200 sccm    

7 O2 10 slm    

8 N2 10 slm      

NO 5 slm    

CH #B CONFIG  

- TURBO :  

- C/M :   

-SCR POWER CONTROLLER :  SN   

-ASTEX :  5312

Gas Panel MFC GAS SIZE

B 10 N2 10 slm  

11 H2 1 slm    

12 H2 10 slm  

15 O2 200 sccm  

16 O2 20 slm  

17 N2 20 slm