1994 LAM Rainbow 4520 XL

- without UI Computer, Chiller and Pump

- Generatorrack with 2 Generatoren 2MHz und 27MHz (135kg)

- no ISO Chamber

Wafer Size Range   Minimum 200 mm  Set Size 200 mm

Power Requirements 208 V   50.0 A   50/60 Hz   1 Phase

Year of Manufacture 1994

Condition Good

Exterior Dimensions   Width 47.244  in  (120.0 cm)  Depth 98.425  in  (250.0 cm)  

Height 66.929  in  (170.0 cm)

Weight 1,764  lb  (800 kg)