1999 LAM TCP 9600

LAM Research TCP 9600

- without UI Computer

- Envision, ESC, Fixed Gap

Wafer Size Range   Set Size 200 mm

Power Requirements 208 V   80.0 A   50/60 Hz   3 Phase

CE Marked YES

Year of Manufacture 1999

Condition Very Good

Exterior Dimensions   Width 120.000  in  (304.8 cm)  Depth 250.000  in  (635.0 cm)  

Height 200.000  in  (508.0 cm)

Weight 600  lb  (272 kg)