2004 TEL ACT8-D

TEL ACT8-D -Track

ACT DB System, AC Power Box, T/C Unit 1+2, T/H Controller ESA 1+2, Chemical Cabinet 1, 2, 3

Wafer Size Range   Minimum 200 mm  Maximum 200 mm

Condition Good

Year of Manufacture 2004

Exterior Dimensions   Width 139.370  in  (354.0 cm)  Depth 66.535  in  (169.0 cm)  

Height 105.906  in  (269.0 cm)

Weight 8,642  lb  (3,920 kg)